電子行業(yè)粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)除了可選擇無線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)外，還可以采用Manifold順序粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，這是一個(gè)較為經(jīng)濟(jì)的方案。該系統(tǒng)配有32個(gè)采樣口（即可全選也可部分選擇使用），系統(tǒng)依次對(duì)每個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)進(jìn)行采樣，采樣輪回周期取決于監(jiān)測(cè)點(diǎn)數(shù)量，最小監(jiān)測(cè)粒徑可達(dá)0.1μm。亦可搭配無線系統(tǒng)使用。

*多路監(jiān)控多達(dá)32個(gè)點(diǎn)的位置                    

*自凈時(shí)間短

*雙向控制能力

*多點(diǎn)采樣較為經(jīng)濟(jì)

*采樣管路可長達(dá)38.1米

*采樣點(diǎn)順序可編程

*可與流量為28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便攜式粒子計(jì)數(shù)器相兼容

*綜合控制器的低復(fù)雜性

*雙向控制能力

*使用壓力傳感器以確保真空流量

*雙向步進(jìn)馬達(dá)控制方向

數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)控，報(bào)警

數(shù)據(jù)趨勢(shì)分析

數(shù)據(jù)報(bào)告導(dǎo)出

3級(jí)權(quán)限管控

具備后期的擴(kuò)展性

支持郵件發(fā)送

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設(shè)備遠(yuǎn)程控制

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