隨著半導體制程技術的飛速發(fā)展，芯片線寬已經進入納米級。與此同時，氣態(tài)分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個數量級，逐漸取代顆粒污染物成為影響產業(yè)制程產率的關鍵因素之一。對微電子半導體制造業(yè)來說，氣態(tài)污染物會危害生產工藝的關鍵環(huán)節(jié)，造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低。因此，微電子廠房內分子級空氣污染的控制也越來越重要。

　　億天凈化公司提供電子半導體生產環(huán)境超潔凈解決方案，提供空氣質量檢測、控制和監(jiān)測等服務。億天公司的化學過濾器、粉塵過濾器、AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)、電子半導體生產環(huán)境智能在線監(jiān)測系統(tǒng)、微粒子可視化系統(tǒng)、粒子計數器、AMC檢測柜、智能FFU等產品，高效節(jié)能降耗，為電子半導體生產提供全方位的潔凈、節(jié)能的空氣解決方案，提高產品質量和產品良率。