半導體生產環(huán)境面臨著嚴峻的挑戰(zhàn)，將最先進的塵埃粒子檢測技術集成到半導體制造工藝中，用高靈敏度粒子計數器提供完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，以確保產品無風險，產量(產品良率)提升。

TSI 提供高靈敏度粒子計數器近60余載，比任何其他粒子計數器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級標準實驗室，這些實驗室要求卓越的準確性、重復性和可靠性。

TSI AeroTrak?便攜式粒子計數器9110型可精確測量0.100μm的粒子，粒徑范圍為0.100至10.0 μm，可同時檢測多達八個通道的粒子數據，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能夠滿足半導體潔凈室應用的苛刻要求。

它所使用的專利*氦氖(HeNe)激光技術可以極大程度提高信噪比，且具有極低的維護成本。9110型完全遵從ISO-14644-1標準，是I級和II級潔凈室檢測的最佳選擇。這款儀器適用于潔凈室微粒子監(jiān)測、過程監(jiān)控和過濾器測試應用等。

9110型可以通過打印機和配套的TrakPro^TM LiteSecure下載軟件生成符合ISO 14644-1標準的通過或非符合的報告。它不僅可以作為單機粒子計數器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。還提供四年激光保修，這是市面上唯一一款提供此售后保證的便攜式 0.100um 粒子計數器。

潔凈度對半導體制造工藝（如潔凈室合規(guī)性、最終產品質量）具有重大影響，實現(xiàn)無污染的半導體制造對于減少缺陷和良率損失以及提高設備的可靠性是至關重要的。

億天凈化作為潔凈技術應用綜合解決方案提供商，能幫助用戶解決在產品制造過程中因為環(huán)境的各種干擾對產品良率影響的不確定性，幫助用戶進行溯源，降低環(huán)境因素的影響，從而讓客戶能夠全身心投入到工藝的研發(fā)和改良當中。