氣態(tài)分子污染物(AMC)已經(jīng)成為影響半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素，主要表現(xiàn)為表面分子污染，這是由氣態(tài)分子和特定表面作用而形成非常薄的化學(xué)膜，化學(xué)膜通常改變產(chǎn)品表面的物理、電子、化學(xué)和光學(xué)特性而導(dǎo)致質(zhì)量缺陷，造成產(chǎn)品良品率下降。

AMC種類復(fù)雜，根據(jù)SEMI發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)中將AMC分為四類:1.酸性分子污染物：如HF、SO2、CL2等;2.堿性分子污染物：如NH3等;3.有機(jī)化合物：如SiH4，碳?xì)浠衔锏?4.摻雜物：如磷（P)、硼(B）等。

AMC可能來源于無塵室外的汽車排氣、大氣臭氧、工廠排放等，或是潔凈室內(nèi)的化學(xué)溶劑揮發(fā)、蝕刻酸氣、塑料制品溢散等，由于來源非常廣泛，污染物種類繁多，因此如何進(jìn)行有效防控已經(jīng)成為行業(yè)的一大難題。 
考慮到內(nèi)部和外部AMC污染源的濃度，半導(dǎo)體行業(yè)控制AMC需要從多方面來進(jìn)行。首先對生產(chǎn)環(huán)境進(jìn)行評估，確定環(huán)境中的氣態(tài)污染物種類和污染程度，然后定制污染控制方案，在新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）和風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）上安裝化學(xué)過濾器，達(dá)到多重去除AMC的效果，為了實(shí)時(shí)掌握AMC含量濃度，還需搭建AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)，進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)

半導(dǎo)體行業(yè)AMC控制是一項(xiàng)重要且復(fù)雜的任務(wù)，除了以上的控制措施，還應(yīng)加強(qiáng)生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)和清潔，定期檢查和更換可能引起AMC污染的部件，提高對AMC控制的認(rèn)識、了解AMC的影響，知道如何正確操作和維護(hù)設(shè)備以減少AMC污染的可能性。此外，建立規(guī)范的操作流程和標(biāo)準(zhǔn)，確保每個(gè)生產(chǎn)步驟都符合AMC控制的要求，來有效降低AMC的濃度，保證半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。

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