FFU(Fan Filter Unit)是一種風(fēng)機(jī)與過濾器組合的設(shè)備，也被稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾單元”。通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的龍骨框架上。FFU上部分為風(fēng)機(jī)模塊，下部分為過濾器，根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可應(yīng)用不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器，以及化學(xué)過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、平板顯示、生物制藥、食品等領(lǐng)域。

FFU化學(xué)過濾器現(xiàn)場安裝示意圖

FFU應(yīng)用

1.風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組

采用知名品牌EC風(fēng)機(jī)，能耗低、噪音更低，安裝和維護(hù)方便。

FFU組成

2.HEPA/ULPA過濾器

HEPA過濾器的效率按照mpps計(jì)數(shù)法≥99.95%，HEPA過濾器可以過濾≥0.3微米的微粒，包括花粉、灰塵、油霧等。而ULPA過濾器具有更高的過濾效率，ULPA過濾器的效率≥99.9995%，過濾≥0.1微米顆粒物。

3.化學(xué)過濾器

FFU化學(xué)過濾器一般安裝在FFU中HEPA/ULPA過濾器上游位置，根據(jù)潔凈室工作區(qū)存在的有害氣體，用于FFU的每個化學(xué)過濾器可以使用不同的類型。

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智能FFU節(jié)能控制系統(tǒng)

為了實(shí)行全面監(jiān)控，隨時(shí)了解空氣潔凈度的變化趨勢，億天凈化研發(fā)了智能FFU控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)大規(guī)模群控和智能控制，構(gòu)建潔凈室的環(huán)境數(shù)據(jù)，通過系統(tǒng)主機(jī)及遠(yuǎn)程控制終端PC，可直觀展示系統(tǒng)中所有FFU的運(yùn)行狀態(tài)，并根據(jù)潔凈度狀態(tài)對FFU分片區(qū)動態(tài)智能控制，可節(jié)能40%左右。