產(chǎn)品詳情：

連續(xù)監(jiān)測@ sub ppb級

醋酸、草酸、胺類、N-甲基毗咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酷(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酷(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酷(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸三甲醋、二甲苯、磷酸三乙酷---等其他有機(jī)物

空氣分子污染物(AMC)對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

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阿瑞斯-uVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達(dá)到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物 AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散,并且成份的增加，分子污染物來自多個(gè)源頭,比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑.

建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-uVOC 系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb 級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。

特點(diǎn)優(yōu)勢：

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動(dòng)化系統(tǒng)
低濃度 VOC監(jiān)測
獨(dú)立分開測量有機(jī)物成份

Sub-ppb 檢測限

集成計(jì)算機(jī)和控制軟

件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
通過成份形成跟蹤污染物源頭：

許多生產(chǎn)過程化學(xué)藥劑成為污染物的源頭，NH;因光刻工藝過程而最為著名。六甲基二硅胺烷 (HMDS) 又分解成三甲基硅醇和 NH3,等等很多類似的化學(xué)藥劑的分解與釋放,都造成 AMC 的增加。而實(shí)時(shí)迅速測量這些成份濃度的阿瑞斯-uVOC系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時(shí)間和路線。

污染物交叉干擾是另一個(gè)潔凈室控制的難題，事實(shí)上，由于潔凈室內(nèi)部氣體循環(huán)，一個(gè)工藝段上的必須用的藥劑或溶劑有可能成為另一個(gè)不同工藝段的危害物或污染物。多虧阿瑞斯-uvoc 系統(tǒng)強(qiáng)大的多組份低濃度測量能力，為潔凈室交叉干擾難題提供了絕好的解決方案。

實(shí)時(shí)監(jiān)測過濾器狀態(tài)：在新風(fēng)空調(diào)箱(MUA)、高效過濾器 (FFU)生產(chǎn)機(jī)臺上方 SWIF 下方安裝化學(xué)過濾器，實(shí)際生產(chǎn)過程中過濾器的維護(hù)和更換，如果太早或者太遲都會(huì)引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。

帶有16通道的阿瑞斯-uVOC系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進(jìn)來的氣體不符合過濾標(biāo)準(zhǔn)時(shí)采樣點(diǎn)位于進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)上游;當(dāng)吸收能力耗盡時(shí)采樣點(diǎn)位于下游

過程生產(chǎn)工具：

阿瑞斯-uVOC系統(tǒng)專為連續(xù)監(jiān)測、無人值守操作設(shè)計(jì)，是專業(yè)的過程分析工具，16 通道采樣點(diǎn)可以通過設(shè)置自動(dòng)進(jìn)樣進(jìn)行分析，每個(gè)通道都有報(bào)警設(shè)置功能，移動(dòng)式使用功能使阿瑞斯uVOC系統(tǒng)成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。

板載標(biāo)定功能匹配嚴(yán)格的質(zhì)量控制規(guī)則。

實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果，無計(jì)算運(yùn)行。

標(biāo)配，給提供客戶遠(yuǎn)程聯(lián)網(wǎng)技術(shù)支持服務(wù)。

技術(shù)參數(shù)：

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色

譜柱的多組份分離。當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨(dú)特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb 檢測限

應(yīng)用范圍：

潔凈間污染物監(jiān)測

過濾器狀態(tài)監(jiān)測

加工過程全組份測量診斷污染物

可測組份：

2-氨基乙醇CH3NH2CH2OH (t-乙酸丁脂)二羥基甲苯H3CC6H3(t-C4Hg)2OH

2-氨基丙醇CH3NH2C2H4OH

六甲基二硅胺烷(CH3)3SiNHSi(CH3)3

異丙醇(CH3 )2CHOH

二乙氨基乙醇(C2Hs)2NC2HsOH

乙醇胺H2NCH2CH2OH

鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOCgH15)2

環(huán)己胺C6H11NH2

鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2Hs)2

環(huán)聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

鄰苯二甲酸二丁酯C6H4(C=00C4Hg)2

對二氯苯CIC6H4CL

三乙胺(C2Hs)3N

鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOCgH19)2

鄰苯二甲酸二環(huán)己酯C6H4(C=OOC6H11)2

鄰苯二甲酸二癸酯 C6Ha(C=OOC1oH21)2

磷酸三乙酯(C2HsO)3P=0

十甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

十二甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

二甲苯(CH3)2C6H4

三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O)3P=0

三甲基硅醇C3H1oOSi
等等